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氣體傳感器的技術現(xiàn)狀與未來的MEMS解決方案

發(fā)布時間:2022-08-31 閱讀量:6658

關于氣態(tài)或揮發(fā)性污染物對健康影響的新知識層出不窮,它們不斷向人們強調著對室內外空氣質量進行監(jiān)測的必要性。許多揮發(fā)物即使是處于微量水平,在短時間暴露后,仍然會對人體健康有害。越來越多的消費品和工業(yè)產(chǎn)品都可能排放已知有害的揮發(fā)物,包括家具、乘用車和工業(yè)卡車。人們對檢測氣態(tài)污染物的關注度不斷上升,希望通過建立相關有效的響應機制降低或消除這種健康風險。



許多國家以及國際組織一直在致力于制定各種指南、法規(guī)和標準,以監(jiān)測工業(yè)、醫(yī)療、戶外、室內辦公以及住宅環(huán)境中的空氣質量。根據(jù)這些指南,制造商可以對其產(chǎn)品進行檢測認證,也可以讓用戶了解可最低限度接受的氣態(tài)污染物水平。室外大氣污染物主要由氮氧化合物、粉塵可吸入顆粒物、一氧化碳等組成。這些氣體均可使用氣體傳感器進行監(jiān)測。室內空氣中的揮發(fā)物則更加具體,它取決于是住宅還是辦公樓、人員數(shù)量、家具類型、通風系統(tǒng)等因素。主要揮發(fā)物包括CO2、甲醛和苯。

ACD10二氧化碳傳感器

目前,監(jiān)測二氧化碳氣體的傳感器多是采用非分散紅外(NDIR)原理制成,利用氣體分子特有波長吸收光的特點,測量二氧化碳濃度的光吸收率,進而檢測出濃度。NDIR  co2傳感器的顯著優(yōu)點是使用壽命長、測量準確度高。NDIR二氧化碳傳感器經(jīng)批量生產(chǎn),價格降低,市場需求量大增。

APM10-激光顆粒物檢測傳感器


關于粉塵顆粒物目前市場采用較多的是激光散射原理,即令激光照射在空氣中的懸浮顆粒物上產(chǎn)生散射,同時在某一特定角度收集散射光,得到散射光強隨時間變化的曲線。再通過米氏理論的算法,得出顆粒物的等效粒徑及單位體積內不同粒徑的顆粒物數(shù)量?;谶@種原理制作的傳感器測量精度較高,可嵌入到家用(車載、手持)空氣 檢測儀、空氣凈化器中。此外,激光原理傳感器在物聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)采集、環(huán)境質量檢測等領域亦有應用。

隨著空氣凈化行業(yè)的發(fā)展,激光原理傳感器的造價在逐步降低,終端客戶對精準測量空氣質量的要求也越來越高。采用激光原理傳感器、精準量化PM2.5質量已是業(yè)內公認的趨勢。近年來已有部分空氣凈化器采用了激光原理傳感器。

目前,MEMS等新技術也越來越多地綜合利用傳感器硬件、集成氣體過濾器和軟件技術,以提高性能,并達到可以與傳統(tǒng)分析儀器解決方案相媲美的性能水平。


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最新的氣體傳感技術進步使降低成本成為可能。例如,通常采用體硅工藝的 MEMS解決方案就有降低成本的可能性,盡管這些技術還不是目前使用的廣泛性氣體傳感器解決方案。此外,非氣體傳感器中的大多數(shù)MEMS平臺都集成了數(shù)字功能,這使其更容易被更大的傳感器網(wǎng)絡控制或集成,從而有可能為最終用戶降低這些傳感器的總擁有成本(TCO)。傳感器系統(tǒng)標定是 MEMS和任何其他傳感器系統(tǒng)成本的重要組成部分,業(yè)界已將其確定為降低成本的關鍵步驟。

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