未來，傳感器將變得更小、更便宜、更準(zhǔn)確、更靈活、更節(jié)能、更環(huán)保，能夠收集更多類型的數(shù)據(jù)，并集成越來越多的新技術(shù)。 一、更小，更便宜 隨著各種新平臺和新材料的應(yīng)用，制造商可以制造更小的傳感器，其性能可以與毫米級和微波級的電子元器件一樣高，并且隨著更少的硅的應(yīng)用，成本將大幅降低。同時，新平臺還會降低傳感器的設(shè)計、開發(fā)和制造成本。 從長遠(yuǎn)來看，可自我校準(zhǔn)的傳感器具有非常高的成本效益。通過自動校準(zhǔn)，可以減少傳感器的維護(hù)次數(shù)和時間，并大幅降低維護(hù)成本。另外，可自我修復(fù)的傳感器將會有更廣泛的應(yīng)用范圍，并使維護(hù)成本更低，特別是在發(fā)生各種災(zāi)難和風(fēng)險時將大有用處。 二、更高的準(zhǔn)確性 目前，多通道協(xié)作頻譜感知的研究還處于初期階段。未來，一旦技術(shù)成熟，它將比現(xiàn)在的單通道傳感器提供更精確的監(jiān)測數(shù)據(jù)。 更準(zhǔn)確、更可靠和可復(fù)制的傳感器將在醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域擁有更多的應(yīng)用場景，其實(shí)現(xiàn)的功能也更加強(qiáng)大。 三、更靈活且更柔性 柔性傳感器是未來傳感器發(fā)展的一個重要方向。目前，柔性光傳感器、PH傳感器、離子傳感器和生物傳感器仍處在早期開發(fā)階段。在未來，這些柔性傳感器將擁有更多創(chuàng)新應(yīng)用，如人造皮膚、可穿戴傳感器和微動傳感。 通過微線技術(shù)和磁場，傳感器可以像頭發(fā)絲一樣纖細(xì)，而又具有彈性，不需要電源，可以無接觸地測量溫度、壓力、拉力、應(yīng)力，扭轉(zhuǎn)和位置。 四、更好的感知與更多的數(shù)據(jù) 未來的傳感器將更有效地模仿人類的感官，來檢測、處理和分析復(fù)雜的信號，如生物危害、氣味、材料壓力、病原體和腐蝕等。例如這些先進(jìn)的傳感器不僅僅能夠感知大量的單一分析物（例如二氧化碳），還可以破解氣味中的每個組成部分。 此外，智能微塵是由振動驅(qū)動的微觀傳感器，可以監(jiān)控戰(zhàn)場、高層建筑或動脈堵塞等各種情況。 五、更多的醫(yī)療應(yīng)用 目前，很多與健康相關(guān)的傳感器主要用在娛樂和生活方式領(lǐng)域，它們的功能達(dá)不到醫(yī)療級的要求。未來，更多醫(yī)療級的傳感器將通過嚴(yán)格的監(jiān)管審批并實(shí)現(xiàn)醫(yī)療應(yīng)用。 隨著實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)的微型化，將加速生物危害感知的新興技術(shù)的研發(fā)，可穿戴傳感器將成為真正的醫(yī)療級設(shè)備，而非簡單的生活和娛樂之用。醫(yī)療檢測將更加輕松，一臺檢測儀器可以分析更多的物質(zhì)，并減少對檢測樣品量的需求，比如，可以通過汗液和眼淚等體液即可完成健康檢測。 可吞服藥丸是實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)微型化的一個應(yīng)用，例如，已經(jīng)有很多健康科技初創(chuàng)企業(yè)使用可吞服傳感器替代傳統(tǒng)的內(nèi)窺鏡檢查，以減少患者的痛苦。還有一些科技公司研發(fā)的可吞服或可植入藥丸，可以在體內(nèi)長期持續(xù)給藥，讓患者的日常治療更為輕松。 六、更節(jié)能 當(dāng)前，大多數(shù)傳感器并不是很節(jié)能，因?yàn)槠涫冀K處于開啟狀態(tài)。未來，傳感器將變得更智能，并由特定條件驅(qū)動，只有當(dāng)達(dá)到某個條件時才能被激活，而當(dāng)它們處于待機(jī)模式時，幾乎沒有功耗。 此外，傳感器還可以從周圍環(huán)境中獲取能量，實(shí)現(xiàn)更長久的運(yùn)行。例如運(yùn)動、壓力、光線，或患者身體與周圍空氣的熱量差異等都可以成為傳感器的能量來源。 七、更環(huán)保 在未來，環(huán)境友好型和可生物降解的傳感器將日益受到歡迎。 環(huán)境友好型的傳感器，可以感知你所在空間的溫濕度、氣體質(zhì)量、PM2.5以及是否存在有害氣體，可更為智能的為室內(nèi)的人們調(diào)出人體所需的舒適區(qū)、新鮮空氣等，讓人們的生活質(zhì)量更高。 奧松單子的智能環(huán)境監(jiān)測儀（內(nèi)置AGS02MA氣體傳感器） 環(huán)境友好型的傳感器還表現(xiàn)可降解領(lǐng)域。例如傳感器可以采用由細(xì)菌驅(qū)動的，可降解的紙基電池，此類傳感器可用于農(nóng)田管理、環(huán)境監(jiān)測、食品流通監(jiān)測或醫(yī)療檢測等領(lǐng)域，而不會污染環(huán)境。 八、更高的復(fù)雜性和更好的兼容性 通過協(xié)調(diào)工作，傳感器將獲得額外的復(fù)雜性。傳感器集群可以更好地協(xié)調(diào)傳感器之間的工作，并通過自主學(xué)習(xí)系統(tǒng)來確定工作內(nèi)容和位置。 此外，各種新技術(shù)的采用，也將使傳感器變得更加多樣化。例如通過激光技術(shù)，傳感器可以通過物質(zhì)獨(dú)特的光譜識別出物質(zhì)組成；飛行時間傳感器可通過紅外光脈沖測量兩個物體之間的距離；由晶體、特殊陶瓷、骨骼、DNA、蛋白質(zhì)等材料制造的壓電傳感器可以更好地對外部壓力和潛熱進(jìn)行響應(yīng)。 在未來，各種基礎(chǔ)科學(xué)的進(jìn)步將進(jìn)一步推動傳感器技術(shù)的快速進(jìn)化。傳感器將變得更加小型化、人性化，人機(jī)交互更加友好；同時，它們將變得更加隱形，更加不易察覺。隨著傳感器更加深入地融入我們的日常生活，以及與AI等新技術(shù)的融合，在未來的互聯(lián)互通和自動化的世界中，傳感器將使我們的生活更加美好。
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春節(jié)后暖空氣全面控場，我國迎來一波強(qiáng)勢回暖，國內(nèi)多個城市氣溫創(chuàng)同期新高，很多地方暖如夏天。伴隨著暖空氣到來，濕度大幅增加，如何破解回南天濕氣問題呢？ 回南天主要指室內(nèi)返潮，到處潮濕發(fā)霉，讓人抓狂。室內(nèi)潮濕產(chǎn)生很多負(fù)面影響，比如很多物品產(chǎn)生發(fā)霉：墻體發(fā)霉長黑點(diǎn)、儲物（大米、花生等干貨）發(fā)霉變質(zhì)、家用電器造成短路等；在工業(yè)生產(chǎn)中，生產(chǎn)設(shè)備對空氣中的濕度有要求，比如封裝檢測設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備、涂裝工藝等，有的甚至要求室內(nèi)恒溫恒濕，比如老化檢測車間等。如果回南天處理不好，會導(dǎo)致生產(chǎn)不合格的產(chǎn)品，或引起設(shè)備短路發(fā)生火災(zāi)。 目前，室內(nèi)除濕的方法很多，比如開空調(diào)、除濕機(jī)等。現(xiàn)在大多數(shù)家電已經(jīng)升級為智能家電，能達(dá)到智能調(diào)整空氣溫度及濕度的效果，當(dāng)中的關(guān)鍵就是一顆小小的溫濕度傳感器，通過傳感器監(jiān)測空氣中的溫度和濕度，控制家電工作，從而達(dá)到恒溫恒濕的效果。奧松電子研發(fā)制造的集成式溫濕度傳感器AHT21以及AH21B、AM2301B、AM2311B等傳感器模塊，可根據(jù)客戶需求進(jìn)行批量供應(yīng)、定制及終端應(yīng)用，滿足各類型智能家電的需求。 集成式溫濕度傳感器AHT21應(yīng)用范圍很廣，可應(yīng)用于暖通空調(diào)、除濕器、測試及檢測設(shè)備、消費(fèi)品、汽車、自動控制、數(shù)據(jù)記錄器、氣象站、家電、醫(yī)療及其他相關(guān)溫濕度檢測控制。
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2020年是跌宕起伏的一年，新型冠狀病毒肺炎（COVID-19）疫情、中美貿(mào)易爭端、單邊主義盛行等錯綜復(fù)雜的全球形勢影響了各行各業(yè)，改變了人們的生活方式，甚至影響了我們對世界的看法。當(dāng)然，這些也對MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生了重要的影響。不過，困境中往往孕育著機(jī)遇，并不是所有的MEMS細(xì)分領(lǐng)域都在上述負(fù)面影響中掙扎。 2021年，MEMS傳感器的下一輪技術(shù)變革正在進(jìn)行時...例如，紅外探測器和微流控器件市場就在新冠肺炎大流行中獲得了現(xiàn)象級的大幅增長。此外，疫情帶來的居家隔離、遠(yuǎn)程辦公，推動了5G部署、“非接觸”語音交互以及數(shù)據(jù)中心等應(yīng)用發(fā)展，從而加速了射頻濾波器、MEMS振蕩器、MEMS麥克風(fēng)等器件的持續(xù)增長；但是，由于消費(fèi)需求端的急劇萎縮，整體消費(fèi)類MEMS市場小幅下降2.6%，全球汽車市場猛踩剎車，使得這些市場相關(guān)的壓力傳感器、慣性傳感器需求下跌。 2019~2025年MEMS市場預(yù)測（按終端市場細(xì)分）（來源：Yole） 根據(jù)Yole預(yù)測，受新冠疫情等紛繁形勢的影響，2020年MEMS市場營收年同比預(yù)計下降5.2%，其中消費(fèi)(-2.6%)、汽車(-27.5%)和通信(-20.5%)市場負(fù)增長，工業(yè)(11.5%)、醫(yī)療(10.6%)、國防和航天(4.7%)市場繼續(xù)增長?？傮w而言，2021年起預(yù)計將從陰霾中走出，到2025年全球MEMS市場規(guī)模將增長至177億美元，2019~2025年期間的復(fù)合年增長率為7.4%。 另一方面，新冠肺炎疫情確實(shí)阻礙了MEMS市場營收的增長，但卻并沒有影響MEMS技術(shù)和應(yīng)用的中長期演進(jìn)趨勢。MEMS和傳感器仍在向著微型化、集成化、網(wǎng)絡(luò)化、低功耗以及智能化演進(jìn)，具體來說有以下幾個發(fā)展趨勢： （1）MEMS和傳感器呈現(xiàn)多項(xiàng)功能高度集成化和組合化的趨勢。由于設(shè)計空間、成本和功耗預(yù)算日益緊縮，在同一襯底上集成多種敏感元器件、制成能夠檢測多個參量的多功能組合MEMS傳感器成為重要解決方案。 （2）傳感器智能化及邊緣計算。軟件正成為MEMS傳感器的重要組成部分，隨著多種傳感器進(jìn)一步集成，越來越多的數(shù)據(jù)需要處理，軟件使得多種數(shù)據(jù)融合成為可能。MEMS產(chǎn)品發(fā)展必將從系統(tǒng)應(yīng)用的定義開始，開發(fā)具有軟件融合功能的智能傳感器，促進(jìn)人工智能在傳感器領(lǐng)域更廣闊的應(yīng)用。 （3）傳感器低功耗及自供能需求日趨增加。隨著物聯(lián)網(wǎng)等應(yīng)用對傳感需求的快速增長，傳感器使用數(shù)量急劇增加，能耗也將隨之翻倍。降低傳感器功耗，采用環(huán)境能量收集實(shí)現(xiàn)自供能，增強(qiáng)續(xù)航能力的需求將會伴隨傳感器發(fā)展的始終，且日趨強(qiáng)烈。 （4）MEMS向NEMS演進(jìn)。隨著終端設(shè)備小型化、種類多樣化，推動微電子加工技術(shù)特別是納米加工技術(shù)的快速發(fā)展，智能傳感器向更小尺寸演進(jìn)是大勢所趨。與MEMS類似，NEMS（納機(jī)電系統(tǒng)）是專注納米尺度領(lǐng)域的微納系統(tǒng)技術(shù)，只不過尺寸更小。 （5）新敏感材料的興起。薄膜型壓電材料具有更好的工藝一致性、更高的可靠性、更高的良率、更小的面積，可用于MEMS執(zhí)行器、揚(yáng)聲器、觸覺和觸摸界面等。未來MEMS器件的驅(qū)動模式預(yù)計將從傳統(tǒng)的靜電梳齒驅(qū)動轉(zhuǎn)向壓電驅(qū)動。 （6）更大的晶圓尺寸。相比于目前業(yè)界普遍應(yīng)用的6英寸、8英寸晶圓制造工藝，更大的晶圓尺寸能夠很大程度上降低成本、提高產(chǎn)量，并且晶圓尺寸的擴(kuò)大與芯片特征尺寸的縮小是相應(yīng)促進(jìn)和互相推動的。例如，用12英寸晶圓工藝線制造的MEMS產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)。 廣州奧松電子有限公司是國內(nèi)領(lǐng)先的MEMS半導(dǎo)體芯片制造高新技術(shù)企業(yè)，也是廣東省MEMS領(lǐng)域唯一集研發(fā)、設(shè)計、制造、封裝測試、應(yīng)用為一體的MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈（簡稱IDM）企業(yè)。公司主營產(chǎn)品有溫濕度傳感器、水蒸氣傳感器、氣體流量傳感器、差壓傳感器、氧氣傳感器、液體流量傳感器、氣體傳感器、風(fēng)速雨量傳感器等。 奧松電子擁有先進(jìn)的6英寸MEMS半導(dǎo)體智能傳感器芯片生產(chǎn)線,是粵港澳大灣區(qū)先進(jìn)的MEMS半導(dǎo)體芯片制造企業(yè)，為粵港澳大灣區(qū)發(fā)展生物醫(yī)療、新能源汽車、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、智能電網(wǎng)、智能家居等新一代信息技術(shù)領(lǐng)域提供硬件技術(shù)支撐，實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)替代進(jìn)口，解決了我國半導(dǎo)體傳感器的被動現(xiàn)狀，保障了國家關(guān)鍵零部件供應(yīng)鏈安全。
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國家統(tǒng)計局?jǐn)?shù)據(jù)顯示，2019年我國石化和化工行業(yè)實(shí)現(xiàn)主營業(yè)務(wù)收入11.17萬億元，占全國規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)主營業(yè)務(wù)收入的10.56%；石化和化工行業(yè)利潤總額5054億元，占全國規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)利潤的8.2%。 化學(xué)工業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)之一?；瘜W(xué)工業(yè)涉及石化、醫(yī)藥、環(huán)保、冶金、能源等多個領(lǐng)域，對實(shí)現(xiàn)工業(yè)、農(nóng)業(yè)、國防和科學(xué)技術(shù)現(xiàn)代化具有重要的作用，在國民經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)鏈中有著舉足輕重的作用。 近年來，在去產(chǎn)能以及環(huán)保政策趨嚴(yán)下，我國化工行業(yè)發(fā)展速度趨緩，但總體而言仍處于成長發(fā)展期，行業(yè)發(fā)展正趨于規(guī)范化、智能化。 2020年12月17日，由中國石化經(jīng)濟(jì)技術(shù)研究院編著的《2021中國能源化工產(chǎn)業(yè)發(fā)展報告》在京發(fā)布。報告顯示，“十四五”期間，我國煉化行業(yè)將進(jìn)入新增產(chǎn)能全面釋放、行業(yè)整合轉(zhuǎn)型升級時期，化工產(chǎn)品高端化、綠色化發(fā)展將成為新趨勢。 化工行業(yè)的規(guī)范化、智能化、綠色化發(fā)展離不開眾多感知技術(shù)的支持，其中最為關(guān)鍵的技術(shù)之一便是傳感器。傳感器是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將感受到的信息，按一定規(guī)律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。 作為最重要的數(shù)據(jù)采集入口，傳感器讓自動化智能設(shè)備有了感知能力。傳感器在化工領(lǐng)域的應(yīng)用包括石油開采、工業(yè)自動化、油井勘探、工礦行業(yè)、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)等，會運(yùn)用到的傳感器包括壓力傳感器、氣體傳感器、電磁傳感器、流量傳感器、溫濕度傳感器、光纖傳感器、振動傳感器、MEMS傳感器等。 流量傳感器-AFM3000 奧松電子研發(fā)的流量傳感器-AFM3000廣泛應(yīng)用于呼吸機(jī)、麻醉機(jī)、過程自動化、燃燒器控制、燃料電池控制、光譜學(xué)、環(huán)境監(jiān)測、實(shí)驗(yàn)室等場景中，實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)替代進(jìn)口，解決了我國半導(dǎo)體的被動現(xiàn)狀，保障國家關(guān)鍵零部件供應(yīng)鏈安全。 2014-2018年，我國化工行業(yè)傳感器應(yīng)用需求規(guī)模不斷擴(kuò)大，呈現(xiàn)著較快的增長勢頭。據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)顯示，2018年，我國化工傳感器行業(yè)市場規(guī)模為183億元，較上年增長13.23%。根據(jù)化工傳感器占整個傳感器行業(yè)的比重測算，預(yù)計2021年突破250億元。 目前，傳感器在化工行業(yè)中發(fā)揮著越來越重要的作用，同時我國傳感器行業(yè)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)也得到國家政策的大力支持，發(fā)展迅速。一是產(chǎn)業(yè)規(guī)?？焖賶汛?；二是創(chuàng)新能力顯著增強(qiáng)；三是生態(tài)體系基本完善?？梢灶A(yù)見，在國家政策的大力支持下，我國傳感器企業(yè)有望在化工傳感器龐大市場中攫取更多的份額。
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臺灣積體電路制造股份有限公司（中文簡稱：臺積電，英文簡稱：TSMC）創(chuàng)于1987年，是全球第一家也是全球最大的專業(yè)半導(dǎo)體電路制造（晶圓代工Foundry）企業(yè)，總部位于臺灣新竹科學(xué)園區(qū)；2020年8月26日，臺積電南京公司總經(jīng)理羅鎮(zhèn)球在2020世界半導(dǎo)體大會上表示，臺積電5納米產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)階段，3納米產(chǎn)品將在2021面世，并于2022年進(jìn)入大批量生產(chǎn)。接下來，讓我們一起來了解一下世界上最先進(jìn)半導(dǎo)體企業(yè)臺積電晶圓制造的全流程視頻： 點(diǎn)擊看視頻 晶圓制造工藝流程 1、表面清洗 2、初次氧化 3、CVD(ChemicalVapordeposition)法沉積一層Si3N4(HotCVD或LPCVD)。（1）常壓CVD(NormalPressureCVD)（2）低壓CVD(LowPressureCVD)（3）熱CVD(HotCVD)/(thermalCVD)（4）電漿增強(qiáng)CVD(PlasmaEnhancedCVD)（5）MOCVD(MetalOrganicCVD)&分子磊晶成長(MolecularBeamEpitaxy)（6）外延生長法(LPE) 4、涂敷光刻膠（1）光刻膠的涂敷（2）預(yù)烘(prebake)（3）曝光（4）顯影（5）后烘(postbake)（6）腐蝕(etching)（7）光刻膠的去除 5、此處用干法氧化法將氮化硅去除 6、離子布植將硼離子(B+3)透過SiO2膜注入襯底，形成P型阱 7、去除光刻膠，放高溫爐中進(jìn)行退火處理 8、用熱磷酸去除氮化硅層，摻雜磷(P+5)離子，形成N型阱 9、退火處理，然后用HF去除SiO2層 10、干法氧化法生成一層SiO2層，然后LPCVD沉積一層氮化硅 11、利用光刻技術(shù)和離子刻蝕技術(shù)，保留下柵隔離層上面的氮化硅層 12、濕法氧化，生長未有氮化硅保護(hù)的SiO2層，形成PN之間的隔離區(qū) 13、熱磷酸去除氮化硅，然后用HF溶液去除柵隔離層位置的SiO2，并重新生成品質(zhì)更好的SiO2薄膜,作為柵極氧化層。 14、LPCVD沉積多晶硅層，然后涂敷光阻進(jìn)行光刻，以及等離子蝕刻技術(shù)，柵極結(jié)構(gòu)，并氧化生成SiO2保護(hù)層。 15、表面涂敷光阻，去除P阱區(qū)的光阻，注入砷(As)離子，形成NMOS的源漏極。用同樣的方法，在N阱區(qū)，注入B離子形成PMOS的源漏極。 16、利用PECVD沉積一層無摻雜氧化層，保護(hù)元件，并進(jìn)行退火處理。 17、沉積摻雜硼磷的氧化層18、濺鍍第一層金屬（1）薄膜的沉積方法根據(jù)其用途的不同而不同，厚度通常小于1um。（2）真空蒸發(fā)法（EvaporationDeposition）（3）濺鍍（SputteringDeposition） 19、光刻技術(shù)定出VIA孔洞，沉積第二層金屬，并刻蝕出連線結(jié)構(gòu)。然后，用PECVD法氧化層和氮化硅保護(hù)層。 20、光刻和離子刻蝕，定出PAD位置 21、最后進(jìn)行退火處理，以保證整個Chip的完整和連線的連接性 晶圓制造總的工藝流程芯片的制造過程可概分為晶圓處理工序（WaferFabrication）、晶圓針測工序（WaferProbe）、構(gòu)裝工序（Packaging）、測試工序（InitialTestandFinalTest）等幾個步驟。 其中晶圓處理工序和晶圓針測工序?yàn)榍岸危‵rontEnd）工序，而構(gòu)裝工序、測試工序?yàn)楹蠖危˙ackEnd）工序。 1、晶圓處理工序 本工序的主要工作是在晶圓上制作電路及電子元件（如晶體管、電容、邏輯開關(guān)等），其處理程序通常與產(chǎn)品種類和所使用的技術(shù)有關(guān)，但一般基本步驟是先將晶圓適當(dāng)清洗，再在其表面進(jìn)行氧化及化學(xué)氣相沉積，然后進(jìn)行涂膜、曝光、顯影、蝕刻、離子植入、金屬濺鍍等反復(fù)步驟，最終在晶圓上完成數(shù)層電路及元件加工與制作。 2、晶圓針測工序 經(jīng)過上道工序后，晶圓上就形成了一個個的小格，即晶粒，一般情況下，為便于測試，提高效率，同一片晶圓上制作同一品種、規(guī)格的產(chǎn)品；但也可根據(jù)需要制作幾種不同品種、規(guī)格的產(chǎn)品。在用針測（Probe）儀對每個晶粒檢測其電氣特性，并將不合格的晶粒標(biāo)上記號后，將晶圓切開，分割成一顆顆單獨(dú)的晶粒，再按其電氣特性分類，裝入不同的托盤中，不合格的晶粒則舍棄。 3、構(gòu)裝工序 就是將單個的晶粒固定在塑膠或陶瓷制的芯片基座上，并把晶粒上蝕刻出的一些引接線端與基座底部伸出的插腳連接，以作為與外界電路板連接之用，最后蓋上塑膠蓋板，用膠水封死。其目的是用以保護(hù)晶粒避免受到機(jī)械刮傷或高溫破壞。到此才算制成了一塊集成電路芯片（即我們在電腦里可以看到的那些黑色或褐色，兩邊或四邊帶有許多插腳或引線的矩形小塊）。 4、測試工序 芯片制造的最后一道工序?yàn)闇y試，其又可分為一般測試和特殊測試，前者是將封裝后的芯片置于各種環(huán)境下測試其電氣特性，如消耗功率、運(yùn)行速度、耐壓度等。經(jīng)測試后的芯片，依其電氣特性劃分為不同等級。而特殊測試則是根據(jù)客戶特殊需求的技術(shù)參數(shù)，從相近參數(shù)規(guī)格、品種中拿出部分芯片，做有針對性的專門測試，看是否能滿足客戶的特殊需求，以決定是否須為客戶設(shè)計專用芯片。經(jīng)一般測試合格的產(chǎn)品貼上規(guī)格、型號及出廠日期等標(biāo)識的標(biāo)簽并加以包裝后即可出廠。而未通過測試的芯片則視其達(dá)到的參數(shù)情況定作降級品或廢品。 奧松電子MEMS智能傳感器芯片生產(chǎn)線介紹 廣州奧松電子有限公司創(chuàng)立于2003年，注冊資本1462萬元，坐落在廣州開發(fā)區(qū)科學(xué)城，是國內(nèi)領(lǐng)先的應(yīng)用MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)生產(chǎn)傳感器芯片的高新技術(shù)企業(yè)，也是廣東省MEMS領(lǐng)域唯一集研發(fā)、設(shè)計、制造、封裝測試、應(yīng)用為一體的MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈（簡稱IDM）企業(yè)。公司主營產(chǎn)品有溫濕度傳感器、水蒸氣傳感器、氣體流量傳感器、差壓傳感器、氧氣傳感器、液體流量傳感器、氣體傳感器、風(fēng)速雨量傳感器等。 奧松電子斥巨資打造MEMS半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線，一期工程凈化車間總面積約2500平方米，配置濕法清洗區(qū)、百級潔凈度光刻區(qū)、千級潔凈度鍍膜區(qū)、千級潔凈度刻蝕區(qū)、千級潔凈度離子注入?yún)^(qū)及參觀通道等。整個潔凈車間安裝了多套高性能風(fēng)淋系統(tǒng)，對進(jìn)入潔凈間的員工或者貨物進(jìn)行徹底風(fēng)淋除塵。該生產(chǎn)線一期工程于2019年3月立項(xiàng)，2019年6月正式進(jìn)入施工階段。經(jīng)過6個月的施工，生產(chǎn)線的基礎(chǔ)設(shè)施已安裝完成。2020年，多臺步進(jìn)式投影光刻機(jī)、雙面光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、深硅刻蝕機(jī)、大束流離子注入機(jī)、PECVD、LPCVD、氧化爐、磁控濺射機(jī)、探針臺、應(yīng)力測試儀、全自動RCA清洗機(jī)等先進(jìn)的自動化生產(chǎn)設(shè)備搬入，生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營。
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